VASE Ellipsomètre spectroscopique combinant large gamme spectrale et grande résolution spectrale

de Woollam

Le VASE est l'ellipsomètre spectroscopique le plus résolvant et le plus modulaire des ellipsomètres pour la recherche. Il s'applique à tous les types de matériaux : semiconducteurs, diélectriques, polymères, métaux, multi-couches, etc ...

Le VASE combine grande précision spectrale et large gamme spectrale (193 nm à 3,2 µm). Les variations de longueur d'onde et d'angle d'incidence donne une grande flexbilité dans les applications :

  • ellipsométrie en réflexion et transmission
  • ellipsométrie généralisée
  • intensité de réflexion (R)
  • intensité de transmission (T)
  • cross-polarized R/T
  • dépolarisation
  • diffusion
  • matrice de Mueller
Features
Usage ex-situ (goniomètre theta-2 theta 15°-90°)
Large gamme spectrale (193 nm - 3,2 µm)
Grande précision spectrale
Haute résolution spectrale et flexibilité parfaite pour la recherche et la R&D

Précision maximale

L'ellipsomètre VASE de Woollam fonctionne selon la technique RAE (rotating analyzer ellipsometer) combinée avec un AutoRetarder breveté.

Grande précision de sélection en longueur d'onde

Le monochromateur HS-190™ a été conçu spécifiquement pour l'ellipsométrie spectroscopique. Il optimise de façon automatisée la vitesse de mesure, la précision et le résolution spectrales et la quantité de lumière.

Large choix de mesures

Le VASE a été conçu avec un porte-échantillon vertical afin de s'adapter à une très large variété de mesures incluant réflexion, transmission et diffusion.

  • Porte-échantillon vertical
  • Goniomètre automatisé theta-2theta : 20° - 90°
  • Gamme spectale standard : 250 - 1100 nm
  • Option DUV : dès 193 nm
  • Options NIR : jusqu'à 1,7 µm; 2,5 µm ou 3,2 µm
  • Porte-échantillon automatisé XY pour mapping : 50x50 mm ou 150x150 mm
  • Porte-échantillon manuel XY : 50x50 mm
  • Rotation d'échantillon automatisée
  • Option focalisation : spot 200 µm
  • Option Cryostat (4.2 à 500 K ou 4.2 à 800 K)
  • Cellule thermique (RT à 300 °C ou -80 °C à +600 °C)
Analyse des semiconducteurs

Le bandgap, les transitions électroniques et les points critiques peuvent être mesurés pour des semi-conducteurs comme : GaN, InP, SiGe, CdTe, etc.

Analyse des films épais

Pour les couches épaisses (>5 μm), une très bonne résolution spectrale est nécessaire pour résoudre les structures des données Ψ et Δ dues aux réflexions multiples induisant des interférences. L'utilisateur définit le pas du monochromateur pour avoir une résolution spectrale étroite qui va permettre de résoudre les structures fines de Ψ et Δ.

Le VASE est conseillé pour l'analyse des matériaux photosensibles car l'échantillon est éclairé une longueur à la fois donc par un faible flux lumineux

Le monochromateur est positionné avant l'échantillon. Par conséquent, seule une faible intensité lumineuse arrive sur la surface à analysée. Cela évite aux matériaux photosensibles d'être exposés à un flux lumineux qui pourrait modifié leur état.

Analyse des films anisotropiques et des meta-matériaux

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