RC2 Ellipsomètre spectroscopique à double compensateur tournant

de Woollam

L'ellipsomètre Woollam RC2™ est le premier ellipsomètre spectroscopique comportant deux compensateurs tournants. Il combine la polyvalence et les excellentes performances du M-2000™ et inclut une innovation technologique avec son double compensateur tournant achromatique. Le RC2™ bénéficie également d'une toute nouvelle génération de spectrophotomètre. Ainsi le RC2™ est une solution pratiquement universelle pour toutes les applications ellipsométriques, y compris la capacité à donner tous les coefficients de la matrice de Mueller.

Features
Usage ex-situ (goniomètre) ou in-situ (sur bâti) ou encore en ligne
Ellipsomètre à compensateur tournant (RCE)
Conception modulaire avec un large choix de configurations (8 gammes spectrales, différents types de goniomètres, usage in-situ) et un grand nombre d'options (porte-échantillons automatisés, cellules liquides et/ou chauffantes …)
Gamme spectrale maximale : 193 - 2500 nm
Possibilité d'automatisation complète (angle d'incidence, XY, Z, auto-tilt, mapping)

L'ellipsomètre Woollam RC2™ concrétise 25 ans d'expérience et de développement technologique. Il combine la polyvalence et les excellentes performances du M-2000™ et inclut une innovation technologique avec son double compensateur tournant achromatique. Le RC2™ bénéficie également d'une toute nouvelle génération de spectrophotomètre. Ainsi le RC2™ est une solution pratiquement universelle pour toutes les applications ellipsométriques, y compris la capacité à donner tous les coefficients de la matrice de Mueller. Du fait de la même conception modulaire que le M-2000™, le RC2™ peut être fixé directement sur votre chambre de dépôt ou sur n'importe quel set-up ex-situ. Sa conception RCE évoluée lui assure des mesures ellipsométriques très précises pour tout type d'échantillon (aucune singularité). Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.

Mesures rapides

Le fonctionnement synchronisé des deux compensateurs tournants permet des prises de mesure très précises sans avoir à attendre le moyennage au niveau des éléments optiques (pas de “zone-average”).  La collection simultanée des données sur tout le spectre (1000 longueurs d'onde) se fait en une fraction de seconde.

Source lumineuse nouvelle génération

La nouvelle source lumineuse inclut le contrôle informatique  de l'intensité lumineuse pour une optimisation automatique du signal sur tout type d'échantillon (basse ou forte réflexion).

Gammes spectrales disponibles

  • RC2-U : 245 à 1000 nm
  • RC2-D : 193 à 1000 nm
  • Extension proche IR : 1000 à 1690 nm

Vitesse d'acquisition

Mesure du spectre complet en 1/3 de seconde - même pour des données avancées comme la matrice de Mueller.

Stations ex-situ disponibles

  • Station à angle fixe, échantillon horizontal : angles 65° et 90°
  • Goniomètre à angle variable automatisé, échantillon vertical (angle de 20 à 90°) ou éch. horizontal (angle de 45 à 90°)

Options

Pratiquement toutes les options du M-2000™ sont disponibles pour le RC2 :

  • porte-échantillon automatisé en XY (de 100 mm à 450 mm) - mapping possible
  • porte-échantillon en transmission
  • système de focalisation
  • cellules liquide
  • cellules thermiques

Solution In-Situ

Inclut une paire de fenêtre UHV, deux montures pour flanges à vide 2"" avec réglages angulaires

Optical constants and thickness, anisotropy, index gradient, composition

Le RC2™  permet d'obtenir de façon très précise et répétable de nombreux paramètres des couches étudiées, notamment, l'épaisseur, l'indice complexe du matériau, le gradient d'indice, l'anisotropie, la rugosité d'interface, les coefficients de la matrice de Mueller, la dépolarisation.

Homogénéité du profil d'épaisseur

Grâce à la motorisation en XY, il est possible de réaliser les mesures et analyses ellipsométriques de façon automatisée et de réaliser alors des cartographies des paramètres recherchés.

Mesures dynamiques d'adsoption

Les mesures dynamiques sont très utiles pour le contrôle en temps réel en positionnement in-situ sur une chambre de dépôts ainsi qu'avec des cellules liquides et/ou de température.

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