M-2000 Ellipsomètre spectroscopique de référence

de Woollam

L'ellipsomètre Woollam M-2000™ combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Cela permet des mesures quasi-instantanées avec, par exemple, 390 longueurs d'onde analysées en moins d'une seconde. Le M-2000™ est utilisable ex-situ sur un goniomètre ou in-situ directement sur un bâti de dépôt.

Features
Usage ex-situ (goniomètre) ou in-situ (sur bâti) ou encore en ligne
Ellipsomètre à compensateur tournant (RCE)
Conception modulaire avec un large choix de configurations
Gamme spectrale maximale : 193 -1690 nm
Possibilité d'automatisation complète (angle d'incidence, XY, Z, auto-tilt, mapping)

L'ellipsomètre Woollam M-2000™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures très précises et résolues. Le design RCE est compatible avec la détection par spectrophotomètre à caméra CCD afin de détecter toute la gamme spectrale simultanément. Grâce à une conception modulaire, le M-2000™ peut être fixé directement sur votre chambre de dépôt ou sur n'importe quel set-up ex-situ. Sa conception RCE évoluée lui assure des mesures ellipsométriques très précises pour tout type d'échantillon (aucune singularité). Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.

Gammes spectrales disponibles :

  • M-2000V: 370 à 1000 nm (390 wavelengths)
  • M-2000U/X: 245 à 1000 nm (470 wavelengths)
  • M-2000D: 193 à 1000 nm (500 wavelengths)
  • M-2000XF: 245 à 1000 nm (470 wavelengths) *)
  • M-2000XF-193: 245 à 1000 nm (500 wavelengths) *)
  • Extension proche IR : 1000 à 1690 nm (200 wavelengths)

(* for micro spot, adjustable spot size: 25 µm x 60 µm; 50 µm x 120µm; 75 µm x 180 µm; 125 µm x 300 µm; 175 µm x 420 µm)

Options disponibles

  • extension NIR
  • une caméra NIR étend la gamme spectrale des mocèles ""V"", ""U/X"" and ""D"" à 1690 nm ajoutant 200 longueurs d'onde de 1000 nm à 1690 nm

Stations ex-situ disponibles

  • Station à angle fixe, échantillon horizontal : angles 65° et 90°
  • Goniomètre à angle variable automatisé, échantillon vertical (angle de 20 à 90°) ou éch. horizontal (angle de 45 à 90°)

Solution In-Situ

Inclut une paire de fenêtres UHV, deux montures pour flanges à vide 2"" avec réglages angulaires

Porte-échantillon automatisé XY

  • 100 mm x 100 mm (seulement si échantillon horizontal)
  • 150 mm x 150 mm (éch. horizontal et vertical)
  • 200 mm x 200 mm (seulement si échantillon horizontal)
  • 300 mm x 300 mm (seulement si échantillon horizontal)

Porte-échantillon manuel en XY

  • 50 mm x 50 mm (seulement si échantillon horizontal)
  • 100 mm x 100 mm (seulement si échantillon horizontal)

Focalisation

  • sondes amovibles pour atteindre un spot d'analyse de 150 à 300 µm (axe court fonction du modèle V, X, U, D)

**taille de spot minimale : 25 µm avec M-2000F (angle d'incidence fixe)

Epaisseur de couche, indice complexe du matériau, gradient d'indice, anisotropie, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées

Le M-2000™ permet d'obtenir de façon très précise et répétable de nombreux paramètres des couches étudiées, notamment, l'épaisseur, l'indice complexe du matériau, le gradient d'indice, l'anisotropie, la rugosité d'interface, les coefficients de la matrice de Mueller, la dépolarisation.

Homogénéité du profil d'épaisseur

Grâce à la motorisation en XY, il est possible de réaliser les mesures et analyses ellipsométriques de façon automatisée et de réaliser alors des cartographies des paramètres recherchés.

Mesures dynamiques d'adsoption

Les mesures dynamiques sont très utiles pour le contrôle en temps réel en positionnement in-situ sur une chambre de dépôts ainsi qu'avec des cellules liquides et/ou de température.

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