Alpha-SE Ellipsomètre spectroscopique compact

de Woollam

L'ellipsomètre Woollam Alpha-SE™ est un instrument compact et simple d'usage. Comme son grand frère, le très fréquent et modulaire M-2000™, l'Alpha-SE™ combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Cela permet des mesures rapides (quelques secondes) de tout le spectre.

Features
Usage ex-situ (goniomètre 4 positions fixes)
Ellipsomètre à compensateur tournant (RCE)
Conception compacte, robuste et précise
Tarif avantageux
Automatisation en Z

L'ellipsomètre Woollam Alpha-SE™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures fiables et précises. Cette technique RCE lui assure des mesures ellipsométriques complètes (sans singulairité) pour tout type d'échantillon. Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.

Spectral range: 380 nm to 900 nm (180 wavelengths)

Angle of incidence: 65°, 70° and 75°, as well as straight-through

Computer connection: USB (1.1 or higher)

Automated sample height adjustment

Data acquisition time:

  • 3 sec. (Fast mode)
  • 10 sec. (Standard mode)
  • 30 sec. (Long mode)

Gamme spectrale unique: 380 à 900 nm (180 wavelengths)

Station à 4 angles fixes: 65°, 70°, 75° et 90°

Positionnement en Z automatisé

Connexion simple via USB

Temps de mesure

3 sec. à 30 sec.

Options

  • cellule liquide
  • adaptation mécanique pour QCM-D
  • système de focalisation
  • porte-échantillon en transmission
  • platine de translation
  • caméra
Epaisseur de couche, indice complexe du matériau, gradient d'indice, anisotropie, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées

Le Alpha-SE™ est compact, robuste et simple d'usage. Il permet d'obtenir de façon précise et répétable de nombreux paramètres des couches étudiées, notamment, l'épaisseur, l'indice complexe du matériau, le gradient d'indice, l'anisotropie, la rugosité d'interface, les coefficients de la matrice de Mueller, la dépolarisation.

Films diélectriques

La simplicité et la rapidité de mesure de l'Alpha-SE™ le rendent idéal pour les mesures de routines des films minces.

Monocouches auto-assemblées (S.A.M.)

En ellipsométrie spectroscopique, l'information de phase des mesures est fortement sensible pour les couches très fines (< 10nm). Ainsi les SAM peuvent aisément analysées et comparées avec le Alpha-SE™.

Films absorbants

Coating on glass

Contacts

Request further information
Gérant
+33 1 69194949
Fax: +33 1 69 19 49 30

Our partner

Follow us: twitter linkedin
European offices
© LOT Quantum Design 2016