Ellipsométrie

L’ellipsométrie, l'ellipsométrie monochromatique et l’ellipsométrie spectroscopique sont des techniques permettant de déterminer l'épaisseur et les constantes optiques de films minces ou de substrats. Un ellipsomètre, monochromatique ou spectroscopique, mesure la variation de polarisation par réflexion (ou en transmission dans le cas d'échantillons anisotropes).

Nous offrons une large gamme d’ellipsomètres spectroscopiques pour s’adapter à chacune de vos applications. L’ellipsomètre VASE, basé sur un monochromateur à balayage, couvre la plus large gamme spectrale disponible : de 140 nm à 3,2 µm. Il est conseillé pour toutes les applications en recherche et R & D, seul ou en combinaison avec l’IR-VASE (1,7 µm à 30 µm). Les ellipsomètres rapides à base d’un capteur CCD viennent compléter les VASE et IR-VASE. A compensateur tournant simple (M2000 et Alpha-SE) ou double (RC2), ces ellipsomètres sont préconisés pour les mesures ex-situ (goniomètre avec porte-échantillons manuels ou automatisés) ainsi que pour les applications in situ (fixation directe sur bâti  de dépôt ou à travers une cellule liquide ou environnementale).

What is Ellipsometry?

This brief introduction to ellipsometry is targeted to the novice and provides a fundamental description of ellipsometry measurements and typical data analysis procedures. The primary applications of ellipsometry are also covered.

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L'ellipsomètre Woollam M-2000™ combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Cela permet des mesures quasi-instantanées avec, par exemple, 390 longueurs d'onde analysées en moins d'une seconde. Le M-2000™ est utilisable ex-situ sur un goniomètre ou in-situ directement sur un bâti de dépôt.

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L'ellipsomètre Woollam RC2™ est le premier ellipsomètre spectroscopique comportant deux compensateurs tournants. Il combine la polyvalence et les excellentes performances du M-2000™ et inclut une innovation technologique avec son double compensateur tournant achromatique. Le RC2™ bénéficie également d'une toute nouvelle génération de spectrophotomètre. Ainsi le RC2™ est une solution pratiquement universelle pour toutes les applications ellipsométriques, y compris la capacité à donner tous les coefficients de la matrice de Mueller.

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L'ellipsomètre Woollam Alpha-SE™ est un instrument compact et simple d'usage. Comme son grand frère, le très fréquent et modulaire M-2000™, l'Alpha-SE™ combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Cela permet des mesures rapides (quelques secondes) de tout le spectre.

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Le VASE est l'ellipsomètre spectroscopique le plus résolvant et le plus modulaire des ellipsomètres pour la recherche. Il s'applique à tous les types de matériaux : semiconducteurs, diélectriques, polymères, métaux, multi-couches, etc ...

Le VASE combine grande précision spectrale et large gamme spectrale (193 nm à 3,2 µm). Les variations de longueur d'onde et d'angle d'incidence donne une grande flexbilité dans les applications :

  • ellipsométrie en réflexion et transmission
  • ellipsométrie généralisée
  • intensité de réflexion (R)
  • intensité de transmission (T)
  • cross-polarized R/T
  • dépolarisation
  • diffusion
  • matrice de Mueller

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The VUV-VASE variable angle spectroscopic ellipsometer is the standard in optical characterization of materials used in lithography applications. Its measurement range spans vacuum ultraviolet (VUV) to near infrared (NIR). This provides incredible versatility to characterize numerous types of materials: semiconductors, dielectrics, polymers, metals, multilayers and now liquids such as immersion fluids.

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L'IR-VASE est le premier et l'unique ellipsomètre spectroscopique à couvrir une si large gamme spectrale Infra-Rouge de 1,7 µm à 30 µm (333 à 5900 nombre d'onde). L'IR-VASE peut mesurer à la fois n et k d'un matériau sur toute cette très large gamme spectrale sans besoin d'extrapolation, comme une analyse de Kramers-Kronig. Comme les autres ellipsomètres Woollam, l'IR-VASE est idéal pour la caractérisation des couches minces et des matériaux pleins incluant les diélectriques, les semi-conducteurs, les polymères et les métaux.

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L'ellipsomètre Woollam T-Solar™ est un M-2000™ dont l'intensité lumineuse a été optimisée en vue de la caractérisation des wafers Silicium texturés. Comme le M-2000™, il combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Un porte-échantillon spécifique pour l'analyse du Si texturé est fourni.

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