Profilomètre-Rugosimètre 3D optique CSI pour la R&D et la production

NewView 8000 de Zygo

Le profilomètre-rugosimètre 3D Zygo NewView 8000 est un microscope interférométrique en lumière blanche de la famille des CSI. Il s'agit d'un instrument puissant et versatil pour la caratérisation rapide, sans préparation de l'échantillon, de tous les types de surfaces : super-lisses (rugosité < 0,1 nm RMS) à très rugueuses avec une précision subnanomètrique indépendante du grossissement optique. Cet instrument permet de caractériser simultanément votre surface au niveau de sa forme (planéité, sphéricité ...), de sa topographie (marches, rayures, structures ...) et de sa rugosité (Ra, Rms, PV ...). La caractérisation des couches minces est possible tout comme la mesure avec précision des fortes marches jusqu'à 20 mm de haut. Le porte-échantillon motorisé sur 150x150 mm permet les analyses par stitching (recollement automatiques de zones) et patterning (échantillonnage automatisé).

Features
Microscope interférométrique en lumière blanche de la famille CSI avec porte-échantillon 150x150 mm
Technologie SureScan pour des marches ou de la topographie jusqu'à 40 mm de haut et des pentes fortes jusqu'à 86°
Mesure des films minces (>400nm)
Logiciel VisionPro 2D interfaçable en option
Conforme à la norme CSI ISO 25178

Caractérisation de profils de 1 nm à 20 mm, avec de hautes vitesses de mesure, indépendamment de la texture de la surface, du grossissement et du type de structures topographiques.

Utilisant une technique brevetée par Zygo, les microscopes NewView 8200 et 8300 font partie de la famille des CSI (Coherent Scanning Interferometry). Ces profilomètres optiques 3D permettent de caractériser une large gamme d'état de surface allant du super-poli aux surfaces rugueuses et de répondre à un large éventail d'applications  : rugosité, planéité, forme, mesure de pentes, de cônes, de marches, de défauts, de rayures ...

Performance, valorisation technologique et usages multiples.
Les NewView de la famille 8000 existent en deux configuration : NewView 8200 avec un zoom fixe et NewView 8300 avec un tourelle automatisée pouvant supporter jusqu'à trois zooms.

Mesures de planéité, de forme (sphères, cones), de topographie (marches, rayures, structures), de rugosité des surfaces métalliques usinées aux surfaces optiques polies

Microscope CSI en lumière blanche automatisé permettant une large variété d'usages. Nouveau logiciel MX simple d'usage permettant la prise de mesure et l'analyse des mesures d'état de surface enregistrées (planéité, forme, topographie, marches, films minces, rugosité) avec des amplitudes du nanomètre à 20 mm.

Analyse des films minces transparents

Microscope CSI sans contact pour la recherche (outil puissant), la R&D (outil multi-usages, nombreuses options disponibles) et la production (simplicité du logiciel et rapidité de mesure).

Pentes fortes et cones

Pour les surfaces non spéculaires (non poli miroir), du fait de la diffusion de la surface rugueuse, il est possible de dépasser de plus de 50% la limite théorique de mesure des pentes. Il est ainsi possible d'analyser des pentes supérieures à 60° atteignant dans certains cas (objectif 100X) des pentes de 86°. De plus Zygo utilise un brevet pour la caractérisation des cones.

ISO 25178
Interface VisionPro, outil logiciel pour l'inspection
Objectifs à compensation grandissement 2X, 5X et 10X pour des mesures à travers un hublot

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