Profilomètre-Rugosimètre 3D optique CSI avec triple technologie : imagerie couleur + smart PSI + lumière blanche

Nexview de Zygo

Le profilomètre-rugosimètre 3D Zygo NeXview excelle pour la caratérisation de tous les types de surfaces: super-lisses (rugosité < 0,1 nm RMS) à très rugueuses avec une précision subnanomètrique indépendante du grossissement optique. Cet instrument permet de caractériser simultanément votre surface au niveau de sa forme (planéité, sphéricité ...), de sa topographie (marches, rayures, structures ...) et de sa rugosité (Ra, Rms, PV ...).

La caractérisation des couches minces est possible tout comme la mesure avec précision des fortes marches jusqu'à 20 mm de haut. Le porte-échantillon motorisé sur 200x200 mm permet les analyses par stitching (recollement automatiques de zones) et patterning (échantillonnage automatisé).

Features
Imagie couleur et technologie smart-PSI subangstrom
Technologie SureScan pour des marches jusqu'à 40 mm et des pentes fortes jusqu'à 86°
Caractérisation des films minces transparents supérieurs à 400 nm
Mesures en imagerie couleur
Conforme à la norme CSI ISO 25178
  • Profilométrie sans compromis pour tous les types de surfaces : du poli-optique (<0,1 nm RMS) aux fortes rugosités, films minces, pentes fortes, cônes, marches importantes
  • précision et répétabilité exceptionnelles traçables avec des étalons certifiés
  • Technologie robuste anti-vibrations
  • conforme à la norme ISO 25178

 

 

Rugosité Sub-Angstrom

Technologie Smart-PSI pour la caractérisation des rugosités sub-angstrom.

Planéité et rugosité du métal au poli-optique

Microscope interférométrique en lumière blanche avec des propriétés confocales pour des caractérisations métrologiques multiples. Nouveau logiciel MX simple d'usage pour la mesure de forme (planéité, sphéricité ...), de topographie (marches, rayures, structures ...) et de rugosité (Ra, Rms, PV ...). Possibilité de mesures des films minces et des fortes pentes. De 1 nm à 20 mm.

Pentes raides et cônes

Pour les surfaces non-spéculaires, la limite théorique de mesure de pente peut être dépassé parfois jusqu'à 50% du fait de la diffusion de la lumière. Ainsi il est possible de caractériser des pentes jusqu'à plus de 60° pour des surfaces rugueuses. Un brevet déposé par Zygo est notamment utilisé pour l'anaylse des cônes.

Films minces transparents

VisionPro integrated

Grandes surfaces analysables par stitching

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