Profilomètre-Rugosimètre 3D optique CSI automatisé pour le contrôle de production

NewView 7000 de Zygo

Le profilomètre-rugosimètre 3D Zygo NewView est un microscope interférométrique en lumière blanche de la famille des CSI. Il s'agit d'un instrument puissant et versatil pour la caratérisation de tous les types de surfaces : super-lisses (rugosité < 0,1 nm RMS) à très rugueuses avec une précision subnanomètrique indépendante du grossissement optique. Cet instrument permet de caractériser simultanément votre surface au niveau de sa forme (planéité, sphéricité ...), de sa topographie (marches, rayures, structures ...) et de sa rugosité (Ra, Rms, PV ...). La caractérisation des couches minces est possible tout comme la mesure avec précision des fortes marches jusqu'à 20 mm de haut. Le porte-échantillon motorisé sur 150x150 mm permet les analyses par stitching (recollement automatiques de zones) et patterning (échantillonnage automatisé).

Features
Mesures automatisées préconfigurées (stitching, patterning, autofocus) ou personnalisées (programmation via MetroScript)
Système préféré pour le contrôle de précision dans le milieu automobile
Mesure des MEMS et DMEMS
Mesure des films minces (>400nm)
Logiciel VisionPro 2D interfaçable en option

Utilisant la technique FDA brevetée par Zygo, les microscopes NewView 7100 et 7300 font partie de la famille des CSI (Coherent Scanning Interferometry). Ces profilomètres optiques 3D permettent de caractériser une large gamme d'états de surface allant du super-poli aux surfaces rugueuses et de répondre à un large éventail d'applications  : rugosité, planéité, forme, mesure de pentes, de cônes, de marches, de défauts, de rayures.

Mesures automatisées de planéité et de rugosité

Microscope CSI en lumière blanche permettant une large variété d'usages en milieu industriel. Grâce à l'addition d'une tourelle motorisée (option), il est possible de modifier le champ de mesure et la résolution tout en conservant la même résolution verticale.

Mesure de marche, de parallélisme et de planéité

Microscope CSI en lumière blanche permettant une large variété d'usages en milieu industriel. Grâce à l'addition d'une tourelle motorisée (option), il est possible de modifier le champ de mesure et la résolution tout en conservant la même résolution verticale. Cet usage est très pratique pour la caractérisation des pièces de pompe.

Analyse des films minces transparents

Microscope CSI pour caractériser simultanément en laboratoire un film mince et son substrat.

MEMs

Mesure dynamique des MEMs abvec un éclairage stroboscopique. Usage pour caractériser un cantilever à différentes fréquences de résonance.

Interface VisionPro, outil logiciel pour l'inspection

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