Interféromètre Zygo Verifire XPZ : analyse par modulation mécanique par balayage piézoélectrique

Verifire XPZ de Zygo

Verifire XPZ - modulation mécanique, caméra numérique 640 x 480 pixels - Option caméra 1K.

Features
La référence des interféromètres laser
Disponible en 4" et 6"
Gamme complète d'accessoires
Optiques de référence planes et sphériques Zygo : qualité lambda/10 PV à lambda/50 PVr. Réflectivité 4% ou DynaFlect. Possibilité de réaliser des optiques à façon
Rails pour mesure de Rayon de Courbure et banc verticaux

Le Verifire XPZ utilise la technique de modulation mécanique par balayage piézoélectrique afin d'obtenir une excellente précision de l'optique caractérisée. Au cours de la mesure, la longueur de la cavité optique est modulée de façon contrôlée pendant qu'une caméra numérique CCD faible bruit enregistre jusqu'à 13 séquences des modulations interférométriques créées.

Ces séquences sont interprétées et analysées au choix par les logiciels développés par Zygo : MetroPro 9 ou le nouveau MX.

Mesures de forme des surfaces optiques jusqu'à 4" ou 6"

Coefficients de Zernike

Rayon de courbure

ISO 10110-6

Fizeau par modulation piézomécanique

Caractérisation des composants optiques en verre ou plastique (lames, lentilles, miroirs, prismes) en réflexion et transmission. Caractérisation des surfaces métalliques de précision (miroirs, billes, joints), des céramiques polies (moules),  des semi-conducteurs (wafers silicium, déctecteurs optiques).

Forme des sphères optiques ISO 10110-5

Sphères de référence en transmission (TS) de 25 mm, 4" et 6". Qualité lambda/10 PV à lambda/50 PVr. Réflectivité 4% ou DynaFlect. Optiques à façon (qualité, compatible vide, réflectivité).

Transmission spheres 4" or 6" input aperture
Interféromètre de Fizeau pour les mesures de plans optiques
En option : laser stabilisé HeNe (633 nm) à longue durée de vie

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