Interférométrie

La société Zygo propose une large gamme d'interféromètres laser pour la métrologie des optiques. Ils permettent de caractériser la planéité, la forme, la sphéricité et l'asphéricité des optiques, des surfaces polies et des systèmes optiques. Plusieurs techniques de mesure sont disponibles pour permettre une large gamme d'analyses et de conditions de mesures.

Le DynaFiz est le nouvel interféromètre laser de Zygo. Il s'agit d'un système permettant des mesures dynamiques. Cette performance a été rendue possible par un nouveau design optique et un logiciel adapté. Ces mesures dynamiques permettent de réaliser des mesures dans des conditions difficiles (turbulences atmosphériques et vibrations).

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Verifire XPZ - modulation mécanique, caméra numérique 640 x 480 pixels - Option caméra 1K.

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Verifire QPZ - caméra rapide (100 Hz) 1024x1024  pixels, mesures de précision par piézo en présence de vibrations.

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Verifire ATZ - instrument toutes options hautes performances - caméra 1000x1000  pixels, anneau source anti-poussières, zoom et focus indexés, laser stabilisé longue durée de vie.

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Verifire MST - interférométrie par accord de longueur d'onde (wavelength shifting ou FTPSI) pour la mesure des optiques transparentes à faces parallèles. Caractérisation simultanée des faces avant et arrière. Mesure de la variation d'épaisseur optique, du wedge et de l'homogéniété du matériau. Le Verifire MST peut mesurer des cavités à 2, 3 et 4 surfaces. Les artefacts dus aux réflections multiples sont naturellement supprimés par l'interférométrie FTPSI.

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Le Verifire Asphere est basé sur deux compétences centrales de Zygo : la mesure interférométrique et la métrologie multizones brevetée qui permettent la caractérisation de grand précision des surfaces optiques asphériques. Le porte-échantillon motorisé selon 5 axes permet au Verifire Asphere de réaliser de façon automatisée : l'alignement de l'optique, l'acquisition et l'analyse asphérique pour une mesure haute résolution et rapide des asphériques.

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L'interféromètre Zygo Mini XP est un système de métrologie compact conçu pour le contrôle en zone de production optique.

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