Interférométrie

La société Zygo propose une large gamme d'interféromètres laser pour la métrologie des optiques. Ils permettent de caractériser la planéité, la forme, la sphéricité et l'asphéricité des optiques, des surfaces polies et des systèmes optiques. Plusieurs techniques de mesure sont disponibles pour permettre une large gamme d'analyses et de conditions de mesures.

The Verifire XL interferometer is a stand-alone workstation designed for simplistic and reliable metrology of large flat surfaces up to twelve inches (300 mm) in diameter. Examples include front-surface reflectors, windows, and semiconductor wafers or wafer chucks.

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 ZYGO's Verifire HDX interferometer is designed and built for mid-spatial frequency content characterization of extreme performance optical components and systems.

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 ZYGO's Verifire HD interferometer system provides fast high-resolution measurements of flat or spherical surfaces, and transmitted wavefront of optical systems and assemblies. The interferometric cavity length is precisely modulated while a high-speed camera captures several fringe images, which are analyzed by the software to create a highly detailed measurement of the part being tested. 

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ZYGO's Verifire interferometer system provides fast high-precision measurements of plano or spherical surfaces, and transmitted wavefront of optical systems and assemblies. Measure glass or plastic optical components - like flats, lenses, and prisms - and even precision machined metal and ceramic surfaces.

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Le DynaFiz est le nouvel interféromètre laser de Zygo. Il s'agit d'un système permettant des mesures dynamiques. Cette performance a été rendue possible par un nouveau design optique et un logiciel adapté. Ces mesures dynamiques permettent de réaliser des mesures dans des conditions difficiles (turbulences atmosphériques et vibrations).

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Verifire MST - interférométrie par accord de longueur d'onde (wavelength shifting ou FTPSI) pour la mesure des optiques transparentes à faces parallèles. Caractérisation simultanée des faces avant et arrière. Mesure de la variation d'épaisseur optique, du wedge et de l'homogénéité du matériau. Le Verifire MST peut mesurer des cavités à 2, 3 et 4 surfaces. Les artefacts dus aux réflections multiples sont naturellement supprimés par l'interférométrie FTPSI.

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