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Akurate und verlässliche Schichtspannungsmessungen – seit über 20 Jahren Industriestandard

Toho StressMap

Die Flexus Dünnschicht-Stressmesssysteme von Toho (vormals Tencor) wurden speziell für akurate und verlässliche Eigenspannungsmessungen von dünnen Schichten entwickelt und sind seit über 20 Jahren der Industriestandard.

Alle Flexus Systeme arbeiten mit zwei hochintensiven Lasern, die auf lediglich einem beweglichen Transferelement montiert sind. So werden neben dem Rauschen auch Vibrationseffekte minimiert und die Stabilität des Flexus verbessert, was sich in der langjährigen Nutzung der Systeme widerspiegelt.

Die Windows-7-basierte Analyse-Software WINFLX ist netzwerkkompatibel, ermöglicht eine Vielzahl von Datenanalysemethoden und macht den Export und Transfer von Messdaten zum Kinderspiel.

Derzeit gibt es vier unterschiedliche Modelle zur Auswahl. Probengröße und die Messung bei erhöhten Temperaturen sind entscheidende Faktoren bei der Wahl des richtigen Systems.

Modellübersicht

  • QQ FLX 2320-S
    Probengröße bis 200 mm
    Temperaturbereich: -6 °C bis 500 °C

  • QQ FLX 3300-T
    Probengröße bis 300 mm
    Temperaturbereich: -65 °C bis 500 °C

  • QQ FLX 2320-R
    Probengröße bis 200 mm
    Automatisiert rotierender Probenhalter
    3D-Mapping als Standard

  • QQ FLX 3300-R
    Probengröße bis 300 mm
    Automatisiert rotierender Probenhalter
    3D-Mapping als Standard

Toho bietet kostenlose Testmessungen für bis zu fünf Wafer in ihrem Demolabor in Chicago an.


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